簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Choung-Lii Chao".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="複合式拋光液"


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    富勒烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生: 華振廷 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)擁有高崩潰電壓、寬能隙及高熱傳導率之材料特性,因此像是電動車等高功率元件市場上有較大的需求,然而單晶碳化矽晶圓具有高硬度與高抗化學之材料性質…
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